肖特基场发射阴极、镓聚焦离子束(FIB)柱和气体注入系统(GIS)相结合的扫描电镜研究进展.
Manufacturer: Tescan
Model No.: Lyra3 GMU FIB SEM
生产年份: 2013
Year acquired: 2014
Location: 帕森斯房间NB-17AD
Specifications:
- FE-SEM/FIB联合场发射显微镜
- 用于高分辨率/大电流/低噪声成像的高亮度肖特基发射极
- FIB柱用于现场特定分析、沉积、材料烧蚀和离子束光刻
- 自动FIB切割和信号采集，然后进行三维重建和三维可视化
- 标准二次电子(SE), 反向散射电子(BSE), 和阴极发光(CL)探测器
- 束内SE和BSE探测器
- Edax EDS和EBSD探测器用于元素分析和材料晶体取向的检查
- 液态金属离子源Ga
- 放大倍率4倍至100万倍(1kV至30kV)
- 三显示器设置额外的60“普通显示器
可用的配件:
- Gatan拉伸/压缩阶段可用于进行动态材料性能研究，并具有同步图像和数据采集. 最大载荷是2000牛顿
首席科学家: Nancy Cherim
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联系信息
W123 Parsons Hall
Durham, NH 03824
电话:(603)862-2790
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